生产集成电路芯片需要高度专业化的设备，可在多重苛刻环境下工作，如：        

● 真空环境下的等离子；

● 高温；

● 与高度研磨液接触；

● 暴露于多种高腐蚀性化学品。



优势


● 准确复制全球任何地区可用的材料

● 广泛的材料选择、工程支持和测试能力

● 机加工能力，支持仿真系统npi应用发展

● 材料组合最为广泛，专设计用于湿制程工具

● cmp环材料的全球一流制造商，包括techtron® pps（全球标准cmp应用）

● 用于刻蚀、cvd和离子植入等干式制程工具的材料，可降低成本和提高性能


产品与应用


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